Çin’in ASML’ye meydan okuması: Yerli DUV litografi makineleri seri üretime girdi

Çin, yarı iletken üretiminde dışa bağımlılığı azaltma hedefi doğrultusunda önemli bir adım attı. Şanghay merkezli devlet destekli bir şirketin, immersion (daldırmalı) derin ultraviyole (DUV) litografi makinelerini seri üretmeye başladığı ve ilk sistemlerin bu yıl içinde SMIC, Hua Hong Semiconductor ve ChangXin Memory Technologies (CXMT)‘ye teslim edileceği bildirildi.

Haberi okuduğunuz için teşekkürler, bizi takip etmeyi unutmayın!

The Information’ın konuya yakın iki kaynağa dayandırdığı habere göre, şirketin 2026 yılı içerisinde yaklaşık 5 adet, 2027 yılında ise 20 adet DUV litografi sistemi üretmesi hedefleniyor.

ABD yaptırımlarına karşı yerli alternatif

Haberde üretici şirketin adı açıklanmasa da, geliştirme sürecinde devlet destekli girişim Shanghai Yuliangsheng Technology dahil olmak üzere birçok Çinli firmanın DUV ekiplerinin bir araya getirildiği belirtiliyor. SMIC’in, Yuliangsheng tarafından geliştirilen immersion DUV makinesini Eylül 2025’ten bu yana test ettiği ifade ediliyor. Yeni sistemlerde kullanılan bileşenlerin büyük bölümü Çin’de üretilirken, bazı kritik parçalar hala Japonya’dan tedarik ediliyor. Yerli tedarik zincirindeki gecikmeler ise üretimin bu yıl beklenenden yavaş ilerlemesine neden oldu.

Seri üretime geçişin zamanlaması dikkat çekici. ABD Temsilciler Meclisi’nde görüşülen MATCH Act isimli yasa tasarısı, SMIC, Hua Hong, CXMT, Huawei ve YMTC gibi Çinli şirketlerin ASML’den yalnızca yeni ekipman satın almasını değil, mevcut makineler için servis ve teknik destek almasını da engellemeyi amaçlıyor. Bu durum, Çin’in mevcut ASML ekipmanlarını uzun yıllar kullanmasını zorlaştırabileceği için yerli litografi sistemlerine olan ihtiyacı daha da artırıyor.

ASML hala açık ara lider

ASML, 2026 yılında da yaklaşık 130 DUV sistemi sevk etmeyi planlıyor. Şirket ayrıca 2027’de üretim kapasitesini %30 artırmayı, 2028 için ise benzer bir kapasite artışını değerlendirdiğini açıkladı. Buna rağmen Çin’in ASML satışlarındaki payı düşüş gösteriyor. 2025’te şirket gelirlerinin yaklaşık %33’ünü oluşturan Çin pazarı, 2026 itibarıyla %20 seviyesine gerilemiş durumda.

Çin’in DUV sistemi hangi seviyede?

Immersion DUV litografi teknolojisi tek pozlamada 28 nm seviyesinde üretim yapabiliyor. Çoklu desenleme (multi-patterning) teknikleri kullanıldığında ise teorik olarak 7 nm üretimi mümkün olsa da, bu yöntem üretim maliyetini artırıyor ve verimlilik kayıplarına yol açıyor.

Uzmanlara göre Çin’in geliştirdiği yeni makinelerin üretim hatlarında tam anlamıyla kullanılabilmesi için aylar sürecek doğrulama süreçlerinden geçmesi gerekiyor. Ayrıca performans, hassasiyet ve üretim kalitesi açısından ASML’nin sistemlerinin gerisinde olduğu belirtiliyor.

Öte yandan Reuters’ın daha önce aktardığı bilgilere göre Çin’in yerli EUV litografi projesi de ilerliyor ancak ticari kullanıma ulaşmasının önünde hala uzun bir geliştirme süreci bulunuyor.